一:
真空鍍膜機(jī)的使用技術(shù)百科
問(wèn)題1:真空鍍膜機(jī)的介紹?
答:高真空鍍膜機(jī),鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件:機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測(cè)量系統(tǒng)下面本人詳細(xì)介紹各部分的組成及工作原理。一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔。
問(wèn)題2:衡陽(yáng)真空鍍膜機(jī)使用方法
答:排氣系統(tǒng)是鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分,主要由機(jī)械泵,增壓泵(主要介紹了羅茨泵),三大油擴(kuò)散泵。機(jī)械泵:也稱為泵之前,機(jī)械泵是最廣泛使用的一種低真空泵,這是為了保持油密封和機(jī)械方法依賴于不斷變化的泵吸入空氣的體積該腔室。
問(wèn)題3:真空鍍膜機(jī)的原理
答:真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與。
問(wèn)題4:真空鍍膜機(jī)檢測(cè)氣密性要注意些什么?
答:利用攜帶式鹵素檢漏儀進(jìn)行檢漏的過(guò)程中,由于鹵素氣體的擴(kuò)散系數(shù)小,為使被檢真空室或管道內(nèi)各處的鹵素氣體有一致的濃度,要經(jīng)過(guò)較長(zhǎng)的等待時(shí)間。鹵素檢漏裝置的選材最好避免用到塑料和橡皮,因?yàn)樗芰虾拖鹌?huì)吸收鹵素氣體。
問(wèn)題5:真空鍍膜機(jī)如何調(diào)試
答:1、測(cè)試設(shè)備的抽真空速度,在測(cè)試過(guò)程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;2、測(cè)試設(shè)備的密封性能,就是抽到極限后保壓1小時(shí)看壓降是否達(dá)標(biāo),同時(shí)排除細(xì)小的漏孔;3、產(chǎn)品試作,檢驗(yàn)其他的性能,比如傳動(dòng)、加熱、絕緣等等;4。
問(wèn)題6:真空鍍膜
真空鍍膜機(jī)的使用答:所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。一、鍍膜的方法及分類在真空條件下成膜有很多優(yōu)點(diǎn):可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過(guò)程中于。
問(wèn)題7:真空泵在真空鍍膜機(jī)中有什么作用
答:抽真空用;因?yàn)樵谶M(jìn)行真空鍍膜的時(shí)候,薄膜材料要先蒸發(fā)成為原子或分子,然后以較大的自由程作直線運(yùn)動(dòng),碰撞基片表面而凝結(jié),形成一層薄膜。如果鍍膜室里面殘余的氣態(tài)分子過(guò)多,那么就會(huì)和蒸發(fā)材料的原子或分子發(fā)生頻繁的碰撞。
問(wèn)題8:如何把真空鍍膜機(jī)的真空度抽得更快
真空鍍膜機(jī)的使用答:1如果是第一次用,邊抽邊加溫(一般是200℃左右)1-2小時(shí),除去水汽及附著物。2如果使用了很長(zhǎng)時(shí)間,發(fā)現(xiàn)抽真空變慢,需要更換機(jī)臺(tái)防著板(內(nèi)襯板),然后加溫烘烤。3如果是忽然變很慢,請(qǐng)用設(shè)備檢漏,重點(diǎn)部位在:。
問(wèn)題9:真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備?
答:真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備需要提供智能、穩(wěn)定的冷凍水,來(lái)確保真空鍍膜工藝中電鍍液的溫度恒定,所以會(huì)選擇使用水冷式冷水機(jī)來(lái)作為真空鍍膜加工冷卻設(shè)備。一真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備冷水機(jī)的作用真空鍍膜加工過(guò)程中,真空鍍膜機(jī)作為。
問(wèn)題10:真空鍍膜機(jī)的原理
真空鍍膜機(jī)的使用答:說(shuō)來(lái)話長(zhǎng),簡(jiǎn)單點(diǎn)的話就是:陰極被激發(fā)的電子在電場(chǎng)作用下加速飛向襯底基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和二次電子,二次電子飛向襯底基片。氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈。
二:
真空鍍膜機(jī)的使用技術(shù)資料
問(wèn)題1:真空鍍膜機(jī)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)
答:高真空鍍膜機(jī),鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件:機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測(cè)量系統(tǒng)下面本人詳細(xì)介紹各部分的組成及工作原理。一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔。
問(wèn)題2:真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)原理
答:約需5分鐘。4開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能。
問(wèn)題3:真空鍍膜機(jī)的簡(jiǎn)介
答:需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。
問(wèn)題4:真空鍍膜機(jī)的,粗抽閥,前級(jí)閥,精抽閥,它們的作用是什么,求行家解答
答:真空度不同,需要用的真空泵就不一樣。越高的真空度,需要有幾級(jí)泵來(lái)實(shí)現(xiàn)。粗抽閥,是第一級(jí)泵(一般是旋片泵)與第二級(jí)泵之間的閥門,當(dāng)管道壓力達(dá)到二級(jí)泵開啟的要求時(shí),粗抽閥就可以打開。前級(jí)閥是統(tǒng)稱,包括精抽閥。
問(wèn)題5:真空鍍膜機(jī)維持泵的作用
真空鍍膜機(jī)的使用答:維持泵,機(jī)械泵,盧氏泵,擴(kuò)散泵分別作用是:待機(jī),粗抽(低真空),中抽(中真空),精抽(高真空)。
問(wèn)題6:真空鍍膜機(jī)中晶控起什么作用
答:是為了控制膜厚,最終薄膜會(huì)按照你設(shè)定的厚度去長(zhǎng)。
問(wèn)題7:真空鍍膜機(jī)使用的電離規(guī)管怎么經(jīng)常壞啊?新的裝上都不能用(成都睿寶的
答:?jiǎn)栴}在于你的電阻規(guī)的零點(diǎn)調(diào)的太低,換句話說(shuō),真空度很低就啟動(dòng)電離規(guī)管。真空計(jì)定型,電離規(guī)管不能換。除非換真空計(jì)。換成都正華,用ZJ-10B的規(guī)管。ZJ-27的規(guī)管是經(jīng)常壞。
問(wèn)題8:真空鍍膜機(jī)有四個(gè)泵,他們是怎樣工作的
答:維持泵,機(jī)械泵,盧氏泵,擴(kuò)散泵分別作用是:待機(jī),粗抽(低真空),中抽(中真空),精抽(高真空)。
問(wèn)題9:什么是真空鍍膜技術(shù)?
真空鍍膜機(jī)的使用答:所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。一、鍍膜的方法及分類在真空條件下成膜有很多優(yōu)點(diǎn):可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過(guò)程中于。
問(wèn)題10:真空鍍膜機(jī)燈絲故障
真空鍍膜機(jī)的使用答:一、電控柜的操作1、玻璃真空鍍膜機(jī)開水泵、氣源2、開總電源3、開維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4、開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)。
三 :